
层流罩是一种可提供局部高洁净度的空气净化单元。可灵活地按置在需要高洁净度的工艺点上方,以符合局部工艺点需要高洁净度的环境要求。吊装式洁净层流罩可单个使用,也可多个联接组成带状洁净区域。洁净层流罩与土建式或装配式百级洁净室相比,具有投资省,上马快,对厂房土建要求低。安装简便,运转费用低等优点。
洁净层流罩是将空气以一定的风压通过高效空气过滤器后,使洁净空气呈垂直单向流气流形式送入工作区从而保证了工作区内达到工艺要求的洁净度。
技术性能:
1、洁净度:工作区内≥0 5um粒径的尘埃≤3 5/升
(FS209E 1 00级)
2、平均风速:0.3~0.6m/s
3、噪音:60dB(A) |